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    “中國芯”關鍵材料國產化

    2，2，4，4-四甲硅烷基戊硅烷 （BNS）
    • 中文名：2，2，4，4-四甲硅烷基戊硅烷
    • 英文名：2，2，4，4-Tetrasilylpentasilane
    • CAS號：1668602-96-7
    • 純度：≥98.0%
    • 用途：在低溫通過化學氣相沉積（CVD）快速形成外延硅和多晶硅
    • 規格：公斤級
    新戊硅烷（NPS）
    • 中文名：新戊硅烷
    • 英文名：Neopentasilane
    • CAS號：15947-57-6
    • 純度：≥99.0%
    • 用途：在低溫通過化學氣相沉積（CVD）快速形成外延硅和多晶硅
    • 規格：公斤級
    四氯化鈦 （Ticl?）
    • 中文名：四氯化鈦
    • 英文名：Titanium tetrachloride
    • CAS號：7550-45-0
    • 熔點：-25℃
    • 沸點：135 - 136 °C
    • 蒸氣壓：12.8 hPa 在 20 °C
    • 產品等級：6N
    • 規格：15kg
    四乙氧基硅烷 （TEOS）
    • 中文名：四乙氧基硅烷
    • 英文名：Tetraethoxysilane
    • CAS號：1978-10-4
    • 熔點：-82.49℃
    • 沸點：168°C
    • 蒸氣壓：10.0 hPa 在 20℃
    • 產品等級：9N
    • 規格：17.7kg、35kg、200kg
    雙（二乙氨基）硅烷 （BDEAS）
    • 中文名： 雙（二乙氨基）硅烷
    • 英文名：Bis(diethylamino)silane
    • CAS號：27804-64-4
    • 熔點：＜-10℃
    • 沸點：188℃
    • 產品等級：5N
    • 規格：10kg
    六氯乙硅烷（HCDS）
    • 中文名：六氯乙硅烷
    • 英文名：Hexachlorodisilane
    • CAS號：13465-77-5
    • 沸點：144 - 145.5℃
    • 產品等級：6N
    • 規格：13kg
    八甲基環四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名：八甲基環四硅氧烷
    • 英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS號：556-67-2
    • 熔點：17-19℃
    • 沸點：175-176℃
    • 蒸氣壓：1 mmHg (21.7℃)
    • 產品等級：7N5
    • 規格：10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 （4MS）
    • 中文名：四甲基硅烷
    • 英文名：Tetramethylsilane
    • CAS號：75-76-3
    • 熔點：-99℃
    • 沸點：26-28℃
    • 產品等級：7N5
    • 規格：10kg、20kg、110kg、125kg
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